电子无尘车间施工设置真空泵要满足什么要求呢？

        对于电子无尘车间来说，必不可少的一道工序就是无尘车间施工。但是你们对电子无尘车间施工设置真空泵要怎样才能满足要求呢？今天呢，小编就给大家简单地普及一下。

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      1、使用油润滑的真空泵应该设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

      2、对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下线的20%时，应设置尾气处理装饰，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组成。

      3、传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油。并配置氧气吹扫，氧气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。

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       以上就是小编对电子无尘车间施工设置真空泵要满足什么要求的介绍，希望小编的介绍会对您有所帮助。